半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
产品经验
该产业发展园汇聚了十余家半导体芯片有关于各个商家的,设计的日正确治理 技能5000吨,须要正确治理 产自各个各个商家的的混杂废污水正确处理流程。可能各各个商家的研发流程差距大,废污水正确处理流程的成分非常复杂多种多样,正确治理 难度很大较高。
焦化废水的成分及来原
废渣核心及其几大类:高质量氨水浓度可挥发酸废渣(光刻胶、显影液液等)、含氟废渣(刻蚀工艺)和酸碱性废渣(的清洗工艺)。层次性化学物质及其异丙醇、四甲基氢氧化的铵等难吸附可挥发酸物,及其氟化物、氧化还原电位等无机物生态破坏物。废渣COD冲击大(500-3000mg/L),氟化物质量氨水浓度100-500mg/L,氧化还原电位50-150mg/L。
净化处理过程过程
用于"种类整理+分质解决+收集深入解决"的不断创新模试:
工业企业企业内部各类预解决:含氟焦化废水另外获得并预解决
经济区管道工程细分运送体系
全方位的调理池多样化水质标准
两极混疑结晶彻底清除漂浮物和溶液
更高效海洋生物的流化床反应器(HBR)清理有机会生态破坏物
臭氧的危害催化空气氧化空气氧化吸附难降解苯的同系物物
反覆盖系统的做出脱盐清理
红外光谱线消毒杀菌抓实溢水可靠
很大配置了免费在线监控装置装置和自动化加量装置,回应水环境起伏。
之后成效
系統操作2年来,净化处理作用安全稳定安全。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,高锰酸盐指数<5mg/L,总氮<15mg/L,可达地下水监测Ⅳ类规范标准,方面循环于项目环卫绿化及冷凝塔保湿,循环率已超30%。第一年缩短刚采水采用约40万吨,为项目中小型企业增加煤气费上百十万。