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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆创造厂坐落在苏北中南部,最主要工作8寸大半导体芯片晶圆,每日废液尾气排污的标准量约800吨。在工作阶段中使用的多氢佛酸来晶圆蚀刻,引致废液中氟化物溶度达到了200-300mg/L,远超中国尾气排污的标准的标准(10mg/L左右)。 废水处理方法化学成分及源于 化工废水主要的源于这几个方面: 晶圆蚀刻生产工序 :含高酸度氟化物(HF)、氯化铵及少许巨资属 耐腐蚀机械性拋光(CMP)废水处理 :含納米级硅颗粒物、生物碳络合剂 装备清理生产废水 :含异丙醇、化学需氧量等有机酸物 工作工艺标准流程标准流程 分为"化工奠定+沥青混凝土奠定+强度筛选"一级除理软件: 特一级办理 :污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,建立氟化钙沉积,氟化物剔除率达85% 下级正确处理 :加入PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),出掉胶体溶液态空气工业废气 三阶段净化处理 :能够 多物质筛选器和渗透性炭吸咐,喷水氟化物溶液浓度安稳在8mg/L下类 关键的装备还包括:pH自动的上下调整控制系统、斜管石雕文化淤泥浓缩池、板框刮刀离心机(淤泥脱水器)。 终极郊果 产品开机运行两年检测参数体现 : 氟化物分別含量:7.2mg/L(大于政府规范) COD避开率:92% 污水含水量率:≤65% 年收集氟化钙副车辆约150吨,保证影视污泥处置利用

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