该晶圆创造厂坐落在苏北中南部,最主要工作8寸大半导体芯片晶圆,每日废液尾气排污的标准量约800吨。在工作阶段中使用的多氢佛酸来晶圆蚀刻,引致废液中氟化物溶度达到了200-300mg/L,远超中国尾气排污的标准的标准(10mg/L左右)。
废水处理方法化学成分及源于
化工废水主要的源于这几个方面:
晶圆蚀刻生产工序
:含高酸度氟化物(HF)、氯化铵及少许巨资属
耐腐蚀机械性拋光(CMP)废水处理
:含納米级硅颗粒物、生物碳络合剂
装备清理生产废水
:含异丙醇、化学需氧量等有机酸物
工作工艺标准流程标准流程
分为"化工奠定+沥青混凝土奠定+强度筛选"一级除理软件:
特一级办理
:污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,建立氟化钙沉积,氟化物剔除率达85%
下级正确处理
:加入PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),出掉胶体溶液态空气工业废气
三阶段净化处理
:能够 多物质筛选器和渗透性炭吸咐,喷水氟化物溶液浓度安稳在8mg/L下类
关键的装备还包括:pH自动的上下调整控制系统、斜管石雕文化淤泥浓缩池、板框刮刀离心机(淤泥脱水器)。
终极郊果
产品开机运行两年检测参数体现 :
氟化物分別含量:7.2mg/L(大于政府规范)
COD避开率:92%
污水含水量率:≤65%
年收集氟化钙副车辆约150吨,保证影视污泥处置利用