某半导体材料厂在制作过程中 中食用硝酸银系成像液,发生浓度较高的值含NOx电镀废水,日正确产水量50吨。电镀废水面含NO2-高达到2000mg/L,且富含轻微巧妙光刻胶成份,正确处置分值很大的。
2. 废气部分及來源
定影繁琐流程废气(最主要水空气污染物)
晶圆冲洗废渣
废液洗洁塔排水道
3. 治疗施工工艺环节
选择"高等腐蚀+多级动物清理"改革创新技艺:
臭氧的危害钝化
:可以通过臭氧杀菌出现器出现O3,将难分析无机物分析为小原子核材料,同一将NO2-被氧化为NO3-。
生态学膜体现器(MBR)
:
弟一级:缺痒环保下加药甲醇有所作为碳源,催进反反硝化细菌反应迟钝
第一级:好氧动物膜进步挥发有机酸物
电无机化学程度加工
:使用钛基涂膜探针,确认电解设备用处撤底转化的残留物污染问题物。
4. 最终能够目的
NOx总氮降落到8mg/L有以下
COD比较稳定在30mg/L时间内
废液中水回用率达60%
软件加载耗电控住在3.5kWh/吨水,较传统式工艺设计高效20%。